FBAR
30 – Tehnologije FBAR
Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) Q≈2000 @ f=2GHz
Votlina
Votlina
(novo)
(staro)
SiO2
W
SiO2
W
SiO2
W
SiO2
FBAR
FBAR
BAW-SMR
BAW-SMR